硅外延片 (GB/T 14139-1993)

标准号GB/T 14139-1993状态

发布于：1993-02-06

实施于：1993-10-01

标准状态：废止

硅外延片基本信息

标准号：GB/T 14139-1993

废止日期：2010-06-01

中国标准分类号：H81

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。