300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法 (GB/T 14143-1993)

标准号GB/T 14143-1993状态

发布于：1993-02-06

实施于：1993-10-01

300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法基本信息

标准号：GB/T 14143-1993

被代替日期：2006-12-31

中国标准分类号：H26

归口单位：中国有色金属工业协会

执行单位：中国有色金属工业协会

主管部门：中国有色金属工业协会

国家标准《300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口上报及执行，主管部门为中国有色金属工业协会。