标准号GB/T 14144-1993状态
发布于：1993-02-06
实施于：1993-10-01
硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法基本信息
标准号：GB/T 14144-1993
被代替日期：2010-06-01
中国标准分类号：H26
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
