硅-蓝宝石外延片 (GB/T 14015-1992)

标准号GB/T 14015-1992状态

发布于：1992-12-28

实施于：1993-08-01

硅-蓝宝石外延片基本信息

标准号：GB/T 14015-1992

中国标准分类号：L90

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

国家标准《硅-蓝宝石外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。