标准号GB/T 15871-1995状态
发布于：1995-12-22
实施于：1996-08-01
硬面光掩模基板基本信息
标准号：GB/T 15871-1995
中国标准分类号：L97
国际标准分类号： 31.030 31 电子学 31.030 电子技术专用材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
