标准号GB/T 42106-2022状态
发布于：2022-12-30
实施于：2023-07-01
纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法基本信息
标准号：GB/T 42106-2022
标准类别：方法
中国标准分类号：A42
国际标准分类号： 07.030 07 数学、自然科学，07.030 物理学、化学
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
国家标准《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。
主要起草单位 中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。
主要起草人 顾长志 、杨海方 、李俊杰 、刘前 、王益群 、樊阳波 。
