掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 (GB/T 13389-1992)

标准号GB/T 13389-1992状态

发布于：1992-02-19

实施于：1992-10-01

掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程基本信息

标准号：GB/T 13389-1992

中国标准分类号：H21

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。