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蓝宝石单晶抛光衬底片 (GB/T 13843-1992)

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标准号GB/T 13843-1992状态

发布于:1992-12-28

实施于:1993-08-01

标准状态:废止

蓝宝石单晶抛光衬底片基本信息

标准号:GB/T 13843-1992

废止日期:2017-12-15

中国标准分类号:L90

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《蓝宝石单晶抛光衬底片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

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