微电子学微光刻技术术语 (GB/T 44928-2024)

标准号GB/T 44928-2024状态

发布于：2024-12-31

实施于：2024-12-31

微电子学微光刻技术术语基本信息

标准号：GB/T 44928-2024

标准类别：基础

中国标准分类号：L90

国际标准分类号： 31.030 31 电子学，31.030 电子技术专用材料

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会

主管部门：国家标准委

国家标准《微电子学微光刻技术术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所。

主要起草人 陈宝钦 、王香 、李和委 、王力玉 、李新涛 、冯伯儒 、薛丽君 、郝美玲 、薛彩荣 。

微电子学微光刻技术术语 (GB/T 44928-2024)