标准号GB/T 14851-2025状态
发布于：2025-03-28
实施于：2025-10-01
标准名：电子特气 磷化氢
标准号：GB/T 14851-2025
全部代替标准：GB/T 14851-2009
标准类别：产品
中国标准分类号：G86
国际标准分类号： 71.100.20 71 化工技术，71.100 化工产品，71.100.20 工业气体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门：国家标准委
国家标准《电子特气 磷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。
