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表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度 (GB/T 20176-2025)

标准号GB/T 20176-2025状态

发布于:2025-06-30

实施于:2026-01-01

标准名:表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

标准号:GB/T 20176-2025

全部代替标准:GB/T 20176-2006

标准类别:方法

中国标准分类号:G 04

国际标准分类号: 71.040.40 71 化工技术,71.040 分析化学,71.040.40 化学分析

归口单位:全国表面化学分析标准化技术委员会

执行单位:全国表面化学分析标准化技术委员会

主管部门:中国科学院

国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度》由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

主要起草单位 清华大学、中国矿业大学(北京)、中国人民公安大学、北京大学。

主要起草人 李展平 、郭冲 、和平 、王富芳 、刘婕 、刘兆伦 、孙令辉 、李芹 、马静怡 、张硕 、周凌 、刘可心 、吴美璇 。

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