标准号GB/T 46057-2025状态
发布于：2025-08-29
实施于：2026-03-01
微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法基本信息
标准号：GB/T 46057-2025
标准类别：方法
中国标准分类号：G04
国际标准分类号： 71.040.40 71 化工技术，71.040 分析化学，71.040.40 化学分析
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
执行单位：全国微束分析标准化技术委员会
主管部门：国家标准委
国家标准《微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国科学技术大学、新疆师范大学、中国科学院合肥物质研究院、安徽大学。
主要起草人 丁泽军 、陆大宝 、邹艳波 、毛世峰 、李永钢 、李会民 。
微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法 (GB/T 46057-2025)