标准号GB/T 29056-2025状态
发布于：2025-10-31
实施于：2026-05-01
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法基本信息
标准号：GB/T 29056-2025
全部代替标准：GB/T 29056-2012
标准类别：方法
中国标准分类号：H17
国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准委
国家标准《硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海南玻新能源科技有限公司、青海丽豪清能股份有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司。
主要起草人 万烨 、郭树虎 、刘见华 、曹俊英 、赵培芝 、吴作木 、宋丹 、王春明 、魏东亮 、李强 、冉祎 、康俊勤 、甘俊 、汤艳 。
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 (GB/T 29056-2025)