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蓝宝石单晶衬底抛光片 (GB/T 30858-2025)

标准号GB/T 30858-2025状态

发布于:2025-10-31

实施于:2026-05-01

蓝宝石单晶衬底抛光片基本信息

标准号:GB/T 30858-2025

全部代替标准:GB/T 30858-2014

标准类别:产品

中国标准分类号:H83

国际标准分类号: 29.045 29 电气工程,29.045 半导体材料

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门:国家标准委

国家标准《蓝宝石单晶衬底抛光片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位 天通银厦新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青岛华芯晶电科技有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、广东中图半导体科技股份有限公司、徐州凯成科技有限公司、宁夏材料研究学会、北方民族大学、深圳中机新材料有限公司。

主要起草人 鲁雅荣 、杨诗音 、康森 、李素青 、郑东 、杭寅 、张能 、陆椿 、韩凤兰 、李宁 、武金龙 、董福元 、陈斌 。

蓝宝石单晶衬底抛光片 (GB/T 30858-2025)

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