标准号GB/T 47097-2026状态
发布于：2026-01-28
实施于：2026-08-01
氮化铝单晶抛光片基本信息
标准号：GB/T 47097-2026
标准类别：产品
中国标准分类号：H83
国际标准分类号： 29.045 29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准委
国家标准《氮化铝单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、奥趋光电技术（杭州）有限公司、北京中材人工晶体研究院有限公司、江苏第三代半导体研究院有限公司、北京大学、深圳大学、北京大学东莞光电研究院、中电晶华（天津）半导体材料有限公司。
主要起草人 张丽 、何烜坤 、程红娟 、王英民 、贺东江 、李素青 、姚康 、吴亮 、周振翔 、王琦琨 、齐海涛 、于彤军 、武红磊 、王新强 、李明达 。
氮化铝单晶抛光片 (GB/T 47097-2026)
