氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 (GB/T 47081-2026)

标准号GB/T 47081-2026状态

发布于：2026-01-28

实施于：2026-08-01

氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 基本信息

标准号：GB/T 47081-2026

标准类别：方法

中国标准分类号：H17

国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准委

国家标准《氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 新疆新特新能材料检测中心有限公司、四川永祥新能源有限公司、山东中临半导体新材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、青海南玻新能源科技有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、高富高新材料（浙江）有限公司、松山湖材料实验室。

主要起草人 邱艳梅 、刘国霞 、李冰清 、李兰兰 、贾琳 、李锦春 、刘红亮 、曹俊英 、王春明 、赵培芝 、李强 、陈彩霞 、钟海炎 、胡伟 。

氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 (GB/T 47081-2026)