金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法 (GB/T 47080-2026)

标准号GB/T 47080-2026状态

发布于：2026-01-28

实施于：2026-08-01

金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法基本信息

标准号：GB/T 47080-2026

标准类别：方法

中国标准分类号：H17

国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准委

国家标准《金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院半导体研究所、德州学院、成都中科米格检测技术有限公司、中国石油集团工程材料研究院有限公司、河南碳真芯材科技有限公司、吉林大学、安徽光智科技有限公司、山东大学、嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司、北京大学东莞光电研究院、浙江先导微电子科技有限公司、北京特思迪半导体设备有限公司、宁波晶钻科技股份有限公司、河南省惠丰金刚石有限公司、哈工大郑州研究院、南京同溧晶体材料研究院有限公司、湖北碳六科技有限公司、南京瑞为新材料科技有限公司、成都市玖展科技有限公司、佳睿福钻石（河南）有限公司。

主要起草人 霍晓迪 、曹繁秋 、郑红军 、王希玮 、闫方亮 、王少龙 、屈鹏霏 、王镇 、金鹏 、李红东 、朱嘉琦 、欧琳芳 、陈继锋 、王琦 、于金凤 、蒋继乐 、张娟涛 、张军安 、王志强 、李一村 、李东振 、吕继磊 、徐良伟 、黄亮 、冯参军 、赵继文 。

金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法 (GB/T 47080-2026)