标准号GB/T 47089-2026状态
发布于：2026-01-28
实施于：2026-08-01
蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法基本信息
标准号：GB/T 47089-2026
标准类别：方法
中国标准分类号：H17
国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准委
国家标准《蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 广东中图半导体科技股份有限公司、徐州美兴光电科技有限公司、京东方华灿光电股份有限公司、天通银厦新材料有限公司、松山湖材料实验室、南京同溧晶体材料研究院有限公司。
主要起草人 张能 、米波 、肖桂明 、朱晶 、王子荣 、朱广敏 、康凯 、鲁雅荣 、王新强 、徐军 、袁冶 。
蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法 (GB/T 47089-2026)
