表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析 (GB/T 47073-2026)

标准号GB/T 47073-2026状态

发布于：2026-01-28

实施于：2026-08-01

表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析基本信息

标准号：GB/T 47073-2026

标准类别：方法

中国标准分类号：G04

国际标准分类号： 71.040.40 71 化工技术，71.040 分析化学，71.040.40 化学分析

归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

主管部门：中国科学院

国家标准《表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中石化石油化工科学研究院有限公司、季华实验室、中国计量科学研究院、河北工程大学、国家纳米科学中心。

主要起草人 邱丽美 、范燕 、王海 、侯俊先 、武春霞 、忻睦迪 、徐鹏 。

表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析 (GB/T 47073-2026)