真空蒸发镀膜设备 (JB/T 6922-2015）

标准号JB/T 6922-2015状态

发布于：2015-10-10

实施于：2016-03-01

真空蒸发镀膜设备

标准号：JB/T 6922-2015

中国标准分类号：J78

国际标准分类号：23.160

批准发布部门：工业和信息化部/国家能源局

行业分类：制造业

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。 本标准适用于极限压力在5×10 -4 Pa～5×10 -3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。