硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 (YS/T 1059-2015）

标准号YS/T 1059-2015状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

标准号：YS/T 1059-2015

中国标准分类号：H17

国际标准分类号：77.040.30

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

刘英杰、郑华荣、柯尊斌等

中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司等

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。