薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范 (SJ/T 11516-2015）

标准号SJ/T 11516-2015状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

标准号：SJ/T 11516-2015

中国标准分类号：L90

国际标准分类号：31.030

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

万承华、张沛、熊启龙 等

深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

本标准规定了薄膜晶体管（TFT）用掩模版产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存。