标准号YS/T 936-2013状态
发布于：2013-10-17
实施于：2014-03-01
集成电路器件用镍钒合金靶材
标准号：YS/T 936-2013
中国标准分类号：H62
国际标准分类号：77.150.40
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
董亭义、何金江 等
有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
