真空技术 扩散硅压阻真空计 (JB/T 10553-2006）

标准号JB/T 10553-2006状态

发布于：2006-05-06

实施于：2006-10-01

真空技术 扩散硅压阻真空计

标准号：JB/T 10553-2006

中国标准分类号：J78

国际标准分类号：23.160

批准发布部门：国家发展和改革委员会

行业分类：无

吴春阳、苏玉萍

沈阳真空技术研究所

本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存。 本标准适用于测量压力为（100～1X105）Pa的扩散硅压阻真空计。