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高纯镓化学分析方法 第2部分:镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法 (YS/T 38.2-2009)

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标准号YS/T 38.2-2009状态

发布于:2009-12-04

实施于:2010-06-01

高纯镓化学分析方法 第2部分:镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准号:YS/T 38.2-2009

中国标准分类号:H14

国际标准分类号:77.040.30

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

刘英、刘红

北京有色金属研究总院、峨嵋半导体厂

本标准规定了高纯镓中杂质含量的测定方法。 本标准测定范围:各元素质量分数如下: Mn:2×10-7%~1×10-5%; Mg:5×10-7%~1×10-5%; Cr:5×10-7%~1×10-5%; Zn:1×10-6%~1×10-5%; Pb:2×10-7%~1×10-5%; Ni:5×10-7%~1×10-5%; Sn:5×10-7%~1×10-5%; Cu:2×10-7%~1×10-5%; Co:5×10-7%~1×10-5%; Cd:5×10-7%~1×10-5%; Bi:5×10-7%~1×10

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