磷化铟单晶片几何参数测试方法 (SJ 21475-2018)

标准号SJ 21475-2018状态

发布于：2018-12-29

实施于：2019-03-01

磷化铟单晶片几何参数测试方法基本信息

标准号：SJ 21475-2018

标准名称：磷化铟单晶片几何参数测试方法

英文名称：Test methods for geometric parameters of InP wafers

发布部门：科技工业局