磷化铟晶片研磨工艺技术要求 (SJ 21479-2018)

标准号SJ 21479-2018状态

发布于：2018-12-29

实施于：2019-03-01

磷化铟晶片研磨工艺技术要求基本信息

标准号：SJ 21479-2018

标准名称：磷化铟晶片研磨工艺技术要求

英文名称：Technical requirements for the lapping process of InP wafer

发布部门：科技工业局