SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范 (SJ 21441-2018)

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标准号SJ 21441-2018状态

发布于：2018-01-18

实施于：2018-05-01

标准号：SJ 21441-2018

标准名称：SiC-HPSI 型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范

英文名称：Specification for high purity semi-insulating silicon carbide monocrystalline wafers of SiC-HPSI

发布部门：科技工业局

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