标准号YS/T 1703-2024状态
发布于：2024-10-24
实施于：2025-05-01
晶片包装片盒表面颗粒的测试 液体颗粒计数法基本信息
标准号：YS/T 1703-2024
制修订：制定
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.04
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
适用范围：本文件适用于直径100mm、125mm、150mm、200mm、300mm的硅抛光片、硅外延片、SOI片及其他材质的半导体晶片包装片盒颗粒洁净度的测试
晶片包装片盒表面颗粒的测试 液体颗粒计数法 (YS/T 1703-2024)