标准号YS/T 983-2024状态
发布于：2024-10-24
实施于：2025-05-01
硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法参考件基本信息
标准号：YS/T 983-2024
制修订：修订
代替标准：YS/T 983-2014
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.04
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
适用范围：本文件适用于三氯氢硅法生产硅多晶还原炉尾气成分的测定
硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法参考件 (YS/T 983-2024)
