标准号YS/T 1780-2025状态
发布于:2025-04-10
实施于:2025-11-01
氧化铟镓锌靶材参考件基本信息
标准号:YS/T 1780-2025
制修订:制定
中国标准分类号:H62
国际标准分类号:77.150.99
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
标准类别:产品标准
适用范围:适用于以氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末为原料,以常压烧结工艺生产的氧化铟镓锌靶材,主要应用于新型显示器件薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机发光二极管(OLED)等产业,用来制备透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管沟道层半导体材料。
氧化铟镓锌靶材参考件 (YS/T 1780-2025)