标准号T/ICMTIA SM006—2021状态
发布时间：2021年05月31日
实施时间：2021年07月30日
集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片基本信息
标准号：T/ICMTIA SM006—2021
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本文件规定了直径300mm、P/P-型、(100)晶向规格的硅外延片的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本文件适用于集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mmP/P-型硅外延片。
中国标准分类号：C261 基础化学原料制造
国际标准分类号：01.020
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
