标准号T/CASME 1953-2025状态
发布日期：2025年03月21日
实施日期：2025年04月21日
半导体设备用全氟醚橡胶密封制品基本信息
标准编号：T/CASME 1953—2025
英文标题：Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment
国际标准分类号：83.140.50密封件
中国标准分类号：G 43
国民经济分类：C291 橡胶制品业
起草人：刘韬、徐丹、刘雪莲
起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
范围：本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
内容概括：本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。……