标准号T/ZZB 3949-2025状态
发布日期：2025年12月20日
实施日期：2025年12月31日
阻焊制程激光直写式光刻设备基本信息
标准编号：T/ZZB 3949—2025
英文标题：Laser direct writing lithography equipment for solder mask process
国际标准分类号：31.260
中国标准分类号：51
国民经济分类：C356 电子和电工机械专用设备制造
起草人：焦克北、陈泽瑞、王阔、王鹏、余子英、方骁远、钟迪、周文晖、黄康华。
起草单位：杭州欣俊哲微纳科技有限公司、安吉欣俊哲精密科技有限公司、浙江省质量科学研究院、河南百合特种光学研究院有限公司、杭州欣俊哲光学有限公司、杭州欣俊哲视觉科技有限公司、杭州新诺微电子有限公司、西安电子科技大学杭州研究院、杭州电子科技大学、东莞塘厦裕华电路板有限公司。
适用范围：
内容概括：本文件规定了阻焊制程激光直写式光刻设备（以下简称“光刻设备”）的基本要求、结构与工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文……
