晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范 (T/CPIA 0106-2025)

标准号T/CPIA 0106-2025状态

发布时间：2025-03-15

实施时间：2025-03-30

晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范基本信息

发布部门：中国光伏行业协会

标准页数：25页

内容简介：本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因素，规定了应采取的防护措施和设计要求。本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。