标准号T/CASAS 054-2025状态
发布时间：2025-05-20
实施时间：2025-05-20
氮化铝抛光片吸收系数测试方法基本信息
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
标准页数：13页
内容简介：本文件描述了氮化铝（AlN）抛光片光吸收系数的测试方法，包括原理、仪器设备、测试条件、样品、测试步骤、结果计算和测试报告。本文件适用于氮化铝抛光片的光学质量控制和评估。氮化铝外延片可参照使用。
氮化铝抛光片吸收系数测试方法 (T/CASAS 054-2025)
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发布时间：2025-05-20
实施时间：2025-05-20
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
标准页数：13页
内容简介：本文件描述了氮化铝（AlN）抛光片光吸收系数的测试方法，包括原理、仪器设备、测试条件、样品、测试步骤、结果计算和测试报告。本文件适用于氮化铝抛光片的光学质量控制和评估。氮化铝外延片可参照使用。