标准号T/CASAS 068-2026状态
发布日期：2026-05-06
实施日期：2026-05-06
碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨基本信息
标准号：T/CASAS 068—2026
英文标题：Isotropic porous graphite for silicon carbide wafer manufacturing
国际标准分类号：31电子学
国民经济分类：C 制造业
起草人：-
起草单位：-
适用范围：-
内容概括：本文件规定了碳化硅晶片制造用各向同性多孔石墨的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存等。本文件适用于纯度要求达到5N5（质量分数99.9995%）以上的碳化硅单晶生长及外延用各向同性多孔石墨材料，以及用该材料制作的多孔石墨构件等。……
