标准号GB/T 42263-2022状态
发布于：2022-12-30
实施于：2023-04-01
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法基本信息
标准号：GB/T 42263-2022
标准类别：方法
中国标准分类号：H17
国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。
主要起草人 马农农 、何友琴 、李素青 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 。
