标准号YS/T 1600-2023状态
发布于：2023-04-21
实施于：2023-11-01
碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法基本信息
标准号：YS/T 1600-2023
制修订：制定
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.040.30
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
适用范围：本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。
碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 (YS/T 1600-2023)
碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 (YS/T 1600-2023)
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