III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法 (GB/T 44558-2024)

标准号GB/T 44558-2024状态

发布于：2024-09-29

实施于：2025-04-01

III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法基本信息

标准号：GB/T 44558-2024

标准类别：方法

中国标准分类号：H21

国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准委

国家标准《III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、江苏第三代半导体研究院有限公司、苏州科技大学、北京大学、国家纳米科学中心、北京大学东莞光电研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、ＴＣＬ环鑫半导体（天津）有限公司、苏州大学、山东浪潮华光光电子股份有限公司、北京国基科航第三代半导体检测技术有限公司。

主要起草人 曾雄辉 、董晓鸣 、苏旭军 、牛牧童 、王建峰 、徐科 、王晓丹 、徐军 、郭延军 、陈家凡 、王新强 、颜建锋 、敖松泉 、唐明华 、闫宝华 、李艳明 。

III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法 (GB/T 44558-2024)