微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法 (GB/T 44849-2024)

标准号GB/T 44849-2024状态

发布于：2024-10-26

实施于：2025-05-01

微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法基本信息

标准号：GB/T 44849-2024

标准类别：方法

中国标准分类号：L59

国际标准分类号： 31.080.99 31 电子学，31.080 半导体分立器件，31.080.99 其他半导体分立器件

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、无锡华润上华科技有限公司、苏州大学、微纳感知（合肥）技术有限公司、宁波科联电子有限公司、西北工业大学、美的集团股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所）、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司。

主要起草人 曹诗亮 、李根梓 、马卓标 、胡永刚 、孙立宁 、许磊 、王雄伟 、王学文 、王春举 、钱峰 、张森 、武斌 、张红旗 、张启心 、汤一 、陈林 、王文婧 。

微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法 (GB/T 44849-2024)