微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列 微机电耦合动力学 许立忠，孙丽波 著 (2015版)
微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列 微机电耦合动力学 许立忠，孙丽波 (2015版)
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