微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法 (GB/T 44513-2024)

标准号GB/T 44513-2024状态

发布于：2024-09-29

实施于：2025-01-01

微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法基本信息

标准号：GB/T 44513-2024

标准类别：方法

中国标准分类号：L59

国际标准分类号： 31.080.99 31 电子学，31.080 半导体分立器件，31.080.99 其他半导体分立器件

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州市质量和标准化院、苏州慧闻纳米科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、苏州科技大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、太原航空仪表有限公司、山东中科思尔科技有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、河北初光汽车部件有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、芜湖乐佳电器有限公司。

主要起草人 陈立国 、江大白 、李根梓 、刘会聪 、蒋礼平 、刘胜 、方东明 、夏长奉 、王冰 、周维虎 、许宙 、钟鸣 、张硕 、孙旭辉 、夏燕 、娄亮 、程新利 、杨剑宏 、陈志文 、张中飞 、胡增 、商艳龙 、王阳俊 、高峰 、卢弈鹏 、袁长作 、仲胜利 、李海全 、钱勇国 。

微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法 (GB/T 44513-2024)