标准号GB/T 30868-2025状态
发布于：2025-08-01
实施于：2026-02-01
碳化硅单晶片微管密度测试方法基本信息
标准号：GB/T 30868-2025
全部代替标准：GB/T 30868-2014,GB/T 31351-2014
标准类别：方法
中国标准分类号：H21
国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准委
国家标准《碳化硅单晶片微管密度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达半导体股份有限公司、山东天岳先进科技股份有限公司、广东天域半导体股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、安徽长飞先进半导体股份有限公司、浙江晶瑞电子材料有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、湖州东尼半导体科技有限公司、长飞光纤光缆股份有限公司、浙江材孜科技有限公司、连科半导体有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、上海优睿谱半导体设备有限公司、河南中宜创芯发展有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、宁波合盛新材料有限公司、厦门中芯晶研半导体有限公司。
主要起草人 姚康 、许蓉 、佘宗静 、何烜坤 、王英明 、张红岩 、齐菲 、丁雄杰 、李素青 、刘小平 、欧阳鹏根 、潘文宾 、晏阳 、王志勇 、王明华 、胡润光 、李明达 、张超越 、孙毅 、赵丽丽 、赵新田 、陈基生 。
碳化硅单晶片微管密度测试方法 (GB/T 30868-2025)
