标准号GB/T 14847-2025状态
发布于：2025-10-31
实施于：2026-05-01
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法基本信息
标准号：GB/T 14847-2025
全部代替标准：GB/T 14847-2010
标准类别：方法
中国标准分类号：H21
国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准委
国家标准《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 浙江金瑞泓科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、山东有研艾斯半导体材料有限公司、西安龙威半导体有限公司、浙江大学、麦斯克电子材料股份有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司、赛默飞世尔科技（中国）有限公司、上海优睿谱半导体设备有限公司、青海沅平新能源科技有限公司。
主要起草人 李慎重 、张海英 、李素青 、许峰 、梁兴勃 、蒋玉龙 、葛华 、李明达 、张宏浩 、马林宝 、马向阳 、刘丽娟 、贺东江 、赵跃 、方伟宇 、李云鹏 、庄育军 、韩云霄 、雷浩东 、袁文战 。
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法 (GB/T 14847-2025)
