碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法 (GB/T 47082-2026)

标准号GB/T 47082-2026状态

发布于：2026-01-28

实施于：2026-08-01

碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法基本信息

标准号：GB/T 47082-2026

标准类别：方法

中国标准分类号：H17

国际标准分类号： 77.040 77 冶金，77.040 金属材料试验

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准委

国家标准《碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 山东天岳先进科技股份有限公司、广东天域半导体股份有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、南京百识电子科技有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、安徽长飞先进半导体股份有限公司、西安龙威半导体有限公司、浙江晶越半导体有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中电化合物半导体有限公司、宁夏创盛新材料科技有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、厦门华芯晶圆半导体有限公司。

主要起草人 张红岩 、陈延昌 、付健行 、杨世兴 、宋生 、丁雄杰 、薛宏伟 、胡智威 、韩旭 、刘红超 、马林宝 、欧阳鹏根 、高冰 、佘宗静 、潘尧波 、胡惠娜 、刘小平 、陈基生 。

碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法 (GB/T 47082-2026)