氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法 (YS/T 1392-2020）

标准号YS/T 1392-2020状态

发布于：2020-12-09

实施于：2021-04-01

氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

标准号：YS/T 1392-2020

中国标准分类号：None

国际标准分类号：None

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。