标准号YS/T 26-2016状态
发布于：2016-07-11
实施于：2017-01-01
硅片边缘轮廓检验方法
标准号：YS/T 26-2016
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
硅片边缘轮廓检验方法 (YS/T 26-2016）
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发布于：2016-07-11
实施于：2017-01-01
标准号：YS/T 26-2016
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
本标准规定了硅片边缘轮廓（包含切口）的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓（包含切口），砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。