标准号YS/T 23-2016状态
发布于：2016-04-05
实施于：2016-09-01
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
标准号：YS/T 23-2016
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在＜111>、＜100>和＜110> 晶向的硅单晶衬底上生长的2μm~120μm硅外延层厚度的测量。
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 (YS/T 23-2016）
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