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硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法 (YS/T 23-1992)

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标准号YS/T 23-1992状态

发布于:1992-03-09

实施于:1993-01-01

硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

标准号:YS/T 23-1992

中国标准分类号:H80

国际标准分类号:29.045

批准发布部门:中国有色金属工业总公司

行业分类:无

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